半岛·体育 (中国) 官方网站科研公共服务条件平台变温原位力学扫描系统已经安装完毕，即日起对校内开放试运行，欢迎校内师生预约测试！
一、基本参数
1、场发射扫描电镜电子光学系统（GeminiSEM360）
主要技术参数：
二次电子分辨率（0.7nm@15kV，1.2nm@1kV）、最大放大倍数（1,000,000X）、电子束加速电压（0.02-30kV）、样品室（358mm（Φ）×270mm（h））、样品台（五轴优中心马达驱动样品台X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，R（旋转）＝360°，T（倾斜）＝-3°~+70°）。
2、附件配置：
原位台力学加载模块和升温模块：
最大载荷（5000N）、载荷分辨率（1N）、加载速率（0.55-30µm/s）、最大行程（20mm）、温度范围（室温~800℃）、温度调节精度（0.1℃）。
扫描电镜内集成原子力显微镜：
最大样品尺寸（10mm×10mm×5mm）、分辨率（数字像素尺寸Z＜20pm）、AFM压电陶瓷台（XY行程15mm×15mm）、移动精度（＜100nm）、扫描模式（接触式、非接触式、敲击模式）、扫描范围（20µm×20µm）。
扫描电镜内集成纳米操纵仪（Kleindiek MM3A-EM）：
步进精度（Z＜0.05nm，X＜0.5nm，Y＜0.5nm）、绕轴旋转功能（同心旋转同心度＜30µm，绕轴旋转恢复精度＜0.02°）、移动范围（X/Y方向摆动最大240°，Z轴延展最大距离可至12mm）、最大移动速率（X/Y轴＝10mm/s，Z轴＝2mm/s）、闭环设计（重复精度＜2µm，可一键将操纵仪移至预设位置）。
能谱仪（Oxford UltimMax65）：
能量分辨率（Mn Kα保证优于127eV@计数率130,000cps，F Kα保证优于64eV@计数率130,000cps，C Kα保证优于56eV@计数率130,000cps）、元素分析范围（Be4～Cf98）。
二、应用领域
变温原位力学扫描系统基于GeminiSEM360型扫描电镜，配备独立的原位力学拉伸台（配置加热模块）、EDS探头/EBSD探头、原子力显微镜、纳米操纵仪。可在扫描电镜中进行力、热联合加载的同时，对样品表面微观结构演变进行实时观测与分析，如自动拍摄SEM图像、自动控制EDS/EBSD数据采集等。集成在扫描电镜里的原子力显微镜可实现原位操纵AFM探针以获取样品表面结构、力学、电学等性质。适用于物理、材料、化学、微电子等多个学科领域的前沿研究。
三、送样须知
1.送样请至少提前一周预约，并说明样品类型及实验条件。
2.变温原位力学模块装卸需较长时间稳定真空，一天至多测试两个样品。
3.AFM测试请提前沟通测试模式。
预约请登录：https://facility.whu.edu.cn/
地点：半岛·体育 (中国) 官方网站尖端科技楼101F
联系人：胡老师 15623268602
