半岛·体育 (中国) 官方网站科研公共服务条件平台聚焦离子束/电子束双束电镜（Helios 5 CX）已经安装完毕，即日起对校内开放试运行，欢迎校内师生预约测试！
一、基本参数
1、聚焦离子束/电子束双束电镜（Helios 5 CX）
主要技术参数：
离子源种类（液态Ga离子源）、交叉点分辨率（4.0nm@30kV（采用首选统计法），2.5nm@30kV（采用选边法））、加速电压范围（500V-30kV）、束流强度范围（1pA-100nA）。
电子枪类型（肖特基场发射灯丝）、分辨率（最佳工作距离下：0.6nm@30kV STEM，0.6nm@15kV，0.9nm@1kV；交叉点分辨率：0.6nm@15kV，1.5nm@1kV）、交叉点工作距离（4-5nm）、加速电压范围（200V-30kV连续可调）、束流强度范围（0.8pA-176nA）。
样品室（内径379mm）、样品台（五轴马达驱动样品台，X/Y方向移动范围110mm，Z方向移动范围65mm，R（旋转）＝360°，T（倾斜）＝-11°~+57°）。
2、附件配置：
冷冻传输系统（QUORUM PP3010）：
电镜内冷台温度范围（-190℃~室温）、制备腔室冷台温度范围（-190℃~+50℃）、冷冻腔室（温度范围+110℃至-185℃，可烘烤至+110℃，工作温度范围-15℃至-185℃）。
能谱仪（Oxford UltimMax170）：
能量分辨率（Mn Kα保证优于127eV@计数率130,000cps，F Kα保证优于64eV@计数率130,000cps，C Kα保证优于56eV@计数率130,000cps）、元素分析范围（Be4-Cf98）。
阴极荧光系统（Gatan 450.P.WAR）：
CCD读谱探头（探测范围200-1100nm）、入口/出口狭缝可调范围（0.01mm-10mm连续可调）、光谱分辨率（<0.1nm@404.6nm）、分光光栅（1200l/mm@500nm，尺寸69mm×69mm）
二、应用领域
聚焦离子束/电子束双束电镜（Helios 5 CX）具有材料截面结构表征、透射电镜样品制备、三维断层扫描等功能。本台电镜配备独立的冷冻传输系统、能谱仪、电子背散射衍射附件、阴极荧光系统，可对不耐辐照样品进行冷冻断裂、沉积导电层后，再进行微观结构分析以减少辐照损伤，还可在室温下进行材料成分分析、物相鉴定、发光特性研究及缺陷杂质检测等。
三、送样须知
1、送样请至少提前一周预约，并说明样品类型及实验条件。
2、冷冻扫描测试降温及回温需较长时间稳定，至少预约一天机时。
预约请登录：https://facility.whu.edu.cn/
地点：半岛·体育 (中国) 官方网站尖端科技楼101F
联系人：胡老师 15623268602
